1.物镜可切换多种倍率:5X,10X,20X,50X(选配),100X(选配);
2.配备LED亮度可程控光源:落射光源、轮廓底光源及辅助光源三种光源;
3.单视野范围内测量精度±1μm,重复精度±0.5μm,加装光谱共焦位移传感器可测高度、深度、平面度,测量精度±1μm;
4.支持二维码识别,芯片端面自动截图及瑕疵检测(定制功能);
5.测量数据支持读取处理,便于客户建立测量数据管理系统,对接内部ERP系统,从而帮助客户提升制造业信息化、智能化水平。
自动工具金相测量仪适用于液晶面板、芯片、晶圆、光纤、光器件、光模块、3D玻璃等对测量精度要求较高且需自动化批量测量的行业,既可作高倍率观察也可做高精度测量,尤其适于晶圆切割、晶粒粘贴、焊线和外观检测(外引脚的平整性、共面度、脚距等)。